國內廠商加速追趕

　　掩膜版被形象地比喻成“相機底片”。這片薄薄的材料可以根據要求刻畫出不同的鏤空圖案，在面板生產時，通過光照在襯底上留下它的“分身”，就像“拍照”一樣。作為母版的掩膜版是決定面板精細化程度的關鍵。

　　在平板顯示領域，掩膜版屬于高消耗材料。深圳清溢光電股份有限公司總經理吳克強在接受《中國電子報》記者采訪時指出，以TFT-LCD制造為例，利用掩膜版的曝光掩蔽作用，將設計好的TFT陣列和彩色濾光片圖形按照薄膜晶體管的膜層結構順序，依次曝光轉移至玻璃基板，最終形成多個膜層所疊加的顯示器件，在此過程中至少需要10片掩膜版。而對于像素排列更為復雜的Mini/Micro LED和OLED來說，其所使用的掩膜版數量更多，大概需要17到24片。

圖為：全球平板顯示掩膜版市場規模(百萬元)

數據來源：Omdia，中泰證券研究所

　　隨著新型顯示技術的快速發展，掩膜版的需求也隨之增加。根據Omidia數據，2022年全球平板顯示掩膜版市場規模已經增長至52.1億元。

　　受益于LCD產業向我國持續轉移以及國內在建產能釋放，中國(不包括中國臺灣地區)平板顯示掩膜版市場規模已經超過了韓國成為全球第一。根據群智咨詢數據，2022年中國平板顯示掩膜版市場規模全球占比達到58%，預計2025年將超過60%。

　　我國巨大的市場需求為國內掩膜版廠商提供了肥沃的成長土壤。但是從供給端來看，國內掩膜版廠商的供給能力與國外廠商相比仍存在較大差距。目前，四家頭部掩膜版企業——Photronics福尼克斯、SKE、HOYA以及LG-IT的平板顯示掩膜版銷售額合計占全球的近80%。而中國廠商只有清溢光電和路維光電在全球供應端占據了一席之地，合計銷售額占比約為14.6%。

　　為滿足掩膜版產業需求，從2022年開始，我國陸續有新企業和新產線涌現。

　　2022年8月，路維光電在正式登陸上交所科創板時宣布募資4.05億元用于高精度半導體掩膜版與大尺寸平板顯示掩膜版擴產項目。

　　路維光電董事長、總經理杜武兵在接受《中國電子報》采訪時透露：“未來三至五年內，路維光電將加快相關布局，擴大高世代TFT-LCD掩膜版、高精度AMOLED掩膜版的生產規模及市場占有率;同時，公司計劃投資20億元在蘇州建設半導體掩膜版產線項目，持續提升半導體掩膜版產品精度和豐富產品種類。”

　　2023年4月，由京東方全資子公司北京京東方視訊科技和豪雅株式會社共同持股，總投資超20億元的重慶邁特光電光掩膜版項目開工，計劃2024年第四季度開始量產。

　　近日，清溢光電發布公告稱，擬投資14億元投入高精度掩膜版和高端半導體掩膜版生產基地建設。公告顯示，其中高精度掩膜版生產基地建設項目一期主要生產8.6代及以下，應用于a-Si、LTPS、LTPO、AMOLED、MicroLED等平板顯示的高精度掩膜版產品。

　　掩膜版邁向大尺寸、高精度

　　中國電子材料行業協會常務副秘書長魯瑾在接受《中國電子報》記者采訪時指出，平板顯示掩模版屬于定制化產品，不同下游領域的不同客戶對于產品的尺寸、精度要求均有不同。

　　隨著平板顯示產業的對于大尺寸和高精度的掩膜版的需求不斷增強?！按蟪叽纭焙汀案呔取币呀洺蔀槲覈桨屣@示掩膜版產業發展的重要方向。

　　當前，大尺寸屏幕需求引領全球平板顯示產業向8+代線和10+代線邁進，由此成為掩膜版產業升級的主要驅動力。

　　根據Omdia分析數據，預計2025年全球G8.6及以下平板顯示掩膜版銷售收入預計約49.3億元;G10平板顯示掩膜版銷售收入預計約6.54億元。

　　據悉，平板顯示掩膜版的尺寸取決于顯示產品世代線，不同世代線的尺寸不一樣，從G2.5到G11的平板顯示掩膜版尺寸跨度可以從300mm跨越到1780mm，且產品尺寸越大，其圖形精度的均一性以及圖形缺陷導致的宏觀視覺不良等管控難點越明顯。

　　目前，我國掩膜版廠商已經攻克諸多難點，實現大尺寸平板顯示掩膜版的量產。其中，清溢光電已實現8.6代高精度平板顯示掩膜版的量產;路維光電已經擁有G11代平板顯示掩膜版產品生產線;合肥豐創光罩擁有10.5代平板顯示掩膜版項目。

圖為路維光電G11平板顯示掩膜版產品

　　此外，近年來，屏幕顯示精度的不斷提高、平板顯示技術的更新迭代以及高分辨率終端顯示產品的不斷滲透都在推動平板顯示掩膜版朝著更高精度發展，相關產品的精細化程度已經能夠滿足業內所需。

　　據吳克強介紹，目前，清溢光電的6代AMOLED高精度掩膜版的最小線寬尺寸為1.5μm，線寬精度為0.08μm，位置精度0.2μm，缺陷精度0.5μm。

　　而不同顯示技術對于掩膜版的圖形設計和精度要求不盡相同，由此也帶動了掩膜版廠商生產能力的提升。

　　杜武兵向《中國電子報》記者介紹說，傳統TFT-LCD(包含Mini-LED背光技術)像素陣列設計相對簡單，最小特征尺寸基本在2～3微米，而其彩色濾光片圖形尺寸基本在5微米以上。AMOLED陣列設計更為復雜，像素密度遠高于傳統LCD，相對來說其精度及缺陷管控難度更高。而能用在近眼顯示(VR/AR)的硅基OLED(Micro OLED)的線路圖形則在亞微米級別。因此，隨著顯示技術的不斷發展，作為上游材料供應商，必須不斷提升技術水平，以適應平板顯示對掩膜版的曝光分辨率(最小線寬線縫)、圖形精度均勻性、缺陷控制等相關環節的更高技術要求。

　　吳克強指出，我國掩膜版產業經過數年積累，無論是技術水平、生產能力，還是產品種類都取得了明顯進步，行業不斷涌現出可以適配新型顯示技術的掩膜版產品和工藝。例如，LTPS掩膜版、OLED FMM(高精細金屬掩膜版)、Mini/MicroLED掩膜版、3D厚膠生產技術、4K/8K高分辨率顯示屏掩膜版，以及平板顯示用半透膜(HTM)、PSM等先進的掩膜版工藝。

圖為路維光電掩膜版生產作業現場

　　關鍵原材料和設備仍存短板

　　業內人士強調，盡管我國平板顯示掩模版行業發展速度很快，但還是存在產業鏈斷層的情況。例如，關鍵主要原材料：石英基板材料(尤其是中大型尺寸石英基板)、遮光膜等仍然依賴進口，這就意味著，即使我國掩模版企業從海外巨頭手中搶得訂單，卻仍然受國外材料廠商的掣肘。

　　掩模版的上游材料是經過加工后的合成石英板，實際上我國并不缺少合成石英產能，但在掩膜基材出廠后，還需要經過研磨、拋光、鍍鉻、光阻涂布等幾個精加工環節，只有經過加工后的精掩膜基板才可以交付給掩模版生產廠商。

　　據業內人士介紹，此前，全球具備掩膜基板精加工的企業有日本HOYA和韓國LG-IT兩家公司，其他公司是不具備掩膜和鍍鉻等加工能力的，這迫使掩模版生產廠商只能進口精加工后的基板。

　　魯瑾指出，為降低原材料采購成本，保障終端產品質量，國內掩膜版行業企業開始向上游延伸。目前，國內掩膜版企業已具備一定從研磨、拋光、鍍鉻、涂膠等的生產能力，這不僅可以有效降低原材料的采購成本，而且能夠有效提升掩膜版產品質量。

　　杜武兵指出，路維光電正積極探索掩膜版上游材料領域，目前已實現了國內掩膜版行業在高精度、大尺寸光阻涂布技術上零的突破，這標志著國內掩膜版企業已開始對產業鏈上游技術逐步延伸，一定程度上縮小了與國外領先企業的差距。

　　此外，關于生產平板顯示掩膜版的核心設備——光刻機的供應情況，據吳克強介紹，目前，光刻機供應商集中度較高，基本被瑞典Mycronic和德國海德堡儀器兩家公司所壟斷，國內外掩膜版企業對兩家生產的設備依賴程度較高。

　　作者： 谷月　　來源：中國電子報、電子信息產業網